半导体材料加工项目

南通开发区齐心路28号

江苏钛晟半导体科技有限公司

晶圆切割是芯片生产的重要一环，为顺应国家政策和企业发展需要，企业拟对 1#车间 2 楼进行万级、千级无尘车间装修，引进镭射开槽机、电浆切割机、旋转式附膜机、旋转式清洗机等先进晶圆加工切割(划片）设备，本项目将达成年产 120000 片晶圆的生产能力。

公示期间，未收到对本项目有关的意见和建议。

1、按照雨污分流、清污分流的原则，各类废水分类收集，分质处理，建立完善的厂区雨污水管网。本项目生活污水，拖地废水及初期雨水经水处理装置1处理后，与纯水制备弃水及空调冷凝水一并接管至污水管网，废水接管须满足江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表1中间接排放限值及污水处理厂接管要求，具体排放限值见《报告表》P66。本项目纳入工业污水处理厂接管范围前，清洗、研磨等工序产生的含氟废水须单独收集经厂内水处理装置2处理后，运输至南通能达水处理有限公司处理。

2、你公司须高度重视废气污染防治，在符合安全管理要求的前提下，采取密闭生产等措施强化废气收集措施，减少大气污染物排放。产生挥发性有机废气的生产经营活动，原则上应当在密闭空间或者设备中进行，按照“应收尽收”原则进一步提高废气收集率。本项目有组织氟化物、非甲烷总烃，颗粒物，TVOC及氮氧化物执行江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3的标准；二氧化硫执行江苏省《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1的标准；厂界无组织非甲烷总烃执行江苏省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表4的标准限值，厂界无组织颗粒物、氟化物，二氧化硫及氮氧化物执行江苏省《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3的标准限值；厂区内非甲烷总烃无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)表2标准。相关污染物排放限值详见《报告表》P65。

3、噪声污染防治。项目通过采取合理布局、选用低噪机电设备、设备安装减震垫、车间建筑隔声等有效降噪措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

4、固废污染防治。按“资源化、减量化、无害化”原则，推进废物源头减量和综合利用。本项目危险废物厂内贮存场所须按国家《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）、江苏省固体废物全过程环境监管工作意见（苏环办[2014]16号）、江苏省生态环境厅关于印发《江苏省危险废物集中收集体系建设工作方案（施行）》的通知（苏环办[2021]290号）等法律、法规、规范要求设计施工，各类危废按要求分区贮存。项目产生的危险废物须委托有资质的单位规范处置，并严格按照相关要求，及时在江苏省固体废物管理信息系统中申报。按照《固体废物污染环境防治法》、《一般工业固体废物贮存和填埋控制标准》(GB18599-2020)要求，加强对一般工业固废的堆放、贮存、转移等管理，一般工业固废的相关信息在系统中及时申报。